더 이상 쪼개 질수 없는 상태를 나타내는 상태인 원자 상태. 하지만 현대 기술이 발달하면서 원자상태를 더 작게 분리하게 되는 기술이 생겨났고 원자의 상태를 쪼개어 나누어진 상태를 플라즈마상태라고 한다. 플라즈마는 제 4의 물질 상태라고 말한다.

플라즈마는 최근 新 산업혁명을 주도할 고부가가치 물질로 급부상하면서, 미래 시장을 이끌 블루오션으로 주목받고 있다.

미국, 일본, 독일 등 주요 선진국에서는 오래 전부터 플라즈마 원천 기술을 국가적 차원에서 집중 개발하여 농업, 산업, 환경 등 다양한 분야에 활용하고 있다.

우리나라에서도 플라즈마 기술을 연구하고 있으나, 아직은 미약한 상태이다. 따라서, 향후 글로벌 시장에서 도태되지 않기 위해서는 국내 산학연간의 기술 협력을 물론이고, 다양한 분야로 나뉜 해외 플라즈마 관련 기업 및 기관과도 공동 연구를 진행해야 할 것이다.

I. 서론 1

II. 플라즈마의 개요 3
가. 플라즈마 정의 3
나. 플라즈마 특성과 장점 5
1) 전기적 특성 5
2) 화학적 특성 5
3) 물리적 특성 5
4) 자기적 특성 5
다. 플라즈마 보관 6

III. 플라즈마 기술 개요 9
가. 플라즈마 종류 9
1) 열 플라즈마 9
2) 저온 플라즈마 10
나. 반도체 공정 플라즈마 13
1) 플라즈마 에싱(ashing) 13
2) 플라즈마 CVD 13
3) PECVD SiN, SiO₂ 박막 15

IV. 플라즈마 시장 현황 17
가. 국내 17
나. 국외 21

V. 플라즈마 기술 현황 23
가. 플라즈마 기술동향 23
1) 국내 23
2) 국외 34
나. 플라즈마 응용 산업 현황 39
1) 반도체 산업 39
2) 디스플레이 산업 44
3) 의료 산업 44
4) 환경 산업 46
5) 농식품 산업 46
다. 특허 현황 48
1) 국내 49
2) 국외 65
3) 특허분쟁 81

VI. 플라즈마 관련 기업 및 연구기관 84
가. 국내 84
1) 한국핵융합에너지연구원(KFE) 85
2) 철원 플라즈마 산업 기술연구원 89
3) 에이피티씨 91
4) 뉴파워플라즈마 (NEW POWER PLASMA) 94
5) 피에스엠 (PSM) 97
6) 기타 98
나. 국외 100
1) Plasma Ionic 101
2) relyon plasma 103
3) Dinner Electronic Plasma Surface Technology 106
4) Nordson March 109
5) Plasmatreat 111

VII. 결론 114

VIII. 참고문헌 117

시장조사전문기관으로 『4차 산업혁명을 이끌 미래인쇄전자 산업분석 보고서』, 『국내외 게임시장 산업분석 보고서』, 『사물인터넷 산업분석보고서』, 『조명시장과 OLED 시장보고서』, 『MEMS 기술산업전략보고서』, 『반려동물 산업과 첨단 기술의 만남』, 『방열소재 시장과 기술동향』, 『모바일화에 따른 온라인 문화콘텐츠산업 동향』, 『미세먼지에 관련된 국내시장에 대한 전망분석 보고서』, 『고체산화물연료전지(SOFC) 정책 및 시장과 개발 업체 동향, 기술현황과 사업아이템』, 『듀얼 카메라 시장조사 보고서』, 『전통문화의 시장 및 기술동향 전통식품』, 『모바일 및 웨어러블 기기용 화학』, 『국내외 마이크로바이옴(microbiome)관련 산업분석보고서』(공저), 『국내외 스마트팩토리 산업분석보고서 2022 개정판』(공저), 『전기자동차, 휴대폰 배터리의 핵심기술관련 2차전지 산업분석보고서 2021』(공저) 등을 저술하였다.